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アイテム
Realization of direct bonding of single crystal diamond and Si substrates
https://ocu-omu.repo.nii.ac.jp/records/2019635
https://ocu-omu.repo.nii.ac.jp/records/201963562a3f9d0-b90a-4d3d-9bc5-fb87a6cf56c3
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (1.1 MB)
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| Item type | 共通(1) | |||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2018-04-03 | |||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Realization of direct bonding of single crystal diamond and Si substrates | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 作成者 |
梁, 剣波
× 梁, 剣波
× 桝谷, 聡× 嘉数, 誠
KAKEN2
1000050393731
× 重川, 直輝
KAKEN2
1000060583698
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| 権利情報 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and AIP Publishing. To link to LIANG J et al.., Appl. Phys. Lett. 110, 111603(2017). The URL is: http://doi.org/10.1063/1.4978666 | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | Diamond/Si junctions have been achieved by surface activated bonding method without any chemical and heating treatments. Bonded interfaces were obtained that were free from voids and mechanical cracks. Observations by using transmission electron microscopy indicated that an amorphous layer with a thickness of ~20nm across the bonded interface was formed, and no structural defects were observed at the interface.... | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | This work was supported by the Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research (16K13676) of the Ministry of Education, Culture, Sports, Science, and Technology (MEXT), Japan. | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | AIP Publishing | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | VoR | |||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_970fb48d4fbd8a85 | |||||||||||||||||||||||
| 識別子 | ||||||||||||||||||||||||
| 識別子 | https://doi.org/10.1063/1.4978666 | |||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||
| 関連情報 | ||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | AA11868096 | |||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Applied Physics Letters 巻 110, 号 11, p. 111603, 発行日 2017-03 |
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| 収録物識別子 | ||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 1077-3118 | |||||||||||||||||||||||
