WEKO3
アイテム
Annealing effect of surface-activated bonded diamond/Si interface
https://ocu-omu.repo.nii.ac.jp/records/2019804
https://ocu-omu.repo.nii.ac.jp/records/20198043c4e3b8b-baaf-4c19-affe-e75dbea78a36
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
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本文 (1.1 MB)
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| Item type | 共通(1) | |||||||||||||||||||||||||||
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| 公開日 | 2021-04-01 | |||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Annealing effect of surface-activated bonded diamond/Si interface | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 作成者 |
梁, 剣波
× 梁, 剣波
KAKEN2
1000080757013
× Zhou, Yan× 桝谷, 聡× Gucmann, Filip× Singh, Manikant× Pomeroy, James× 金, 聖祐
× Kuball, Martin× 嘉数, 誠
KAKEN2
1000050393731
× 重川, 直輝
KAKEN2
1000060583698
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| 権利情報 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ja | |||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報Resource | https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | |||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | クリエイティブ・コモンズ 表示 - 非営利 - 改変禁止 4.0 国際 | |||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報Resource | https://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/ | |||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs 4.0 International | |||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | © 2019 Elsevier B.V. This is the accepted manuscript version. The article has been published in final form at https://doi.org/10.1016/j.diamond.2019.02.015. | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Direct bonding of diamond and Si | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Bonding interface | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Residual stress | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Surface activated bonding | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題Scheme | Other | |||||||||||||||||||||||||||
| 主題 | Interfacial structure | |||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | From transmission electron microscope (TEM) observation, a 25nm thick amorphous layer was confirmed at the diamond/Si bonding interface without annealing, the amorphous layer thickness decreased with the annealing temperature. No cracking even in nanometer scale occurred even after high-temperature annealing at 800℃. From in-situ micro-Raman monitoring, the compressed stress was observed in the Si of the bonding interface without annealing with respect to the bonding Si substrate.... | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | This study was supported partly by Hirose International Scholarship Foundation and the Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research (16K13676) of the Ministry of Education, Culture, Sports, Science, and Technology (MEXT), Japan. Bristol acknowledges partial financial support from the EPSRC Programme Grant GaN-DaME (EP/P00945X/1). | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | Elsevier | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||||
| 記事種別等 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | Research article | |||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | AO | |||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_b1a7d7d4d402bcce | |||||||||||||||||||||||||||
| 識別子 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子 | https://doi.org/10.1016/j.diamond.2019.02.015 | |||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||||||
| 関連情報 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.1016/j.diamond.2019.02.015 | |||||||||||||||||||||||||||
| 関連情報 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | AA11525373 | |||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Diamond and Related Materials 巻 93, p. 187-192, 発行日 2019-03 |
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| 収録物識別子 | ||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 0925-9635 | |||||||||||||||||||||||||||
