WEKO3
アイテム
Stability of Diamond/Si Bonding Interface during Device Fabrication Process
https://ocu-omu.repo.nii.ac.jp/records/2019625
https://ocu-omu.repo.nii.ac.jp/records/2019625c1e93808-1371-485a-b40a-2f897d9fc90c
| 名前 / ファイル | ライセンス | アクション |
|---|---|---|
本文 (730.0 KB)
|
|
| Item type | 共通(1) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 公開日 | 2019-12-04 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| タイトル | Stability of Diamond/Si Bonding Interface during Device Fabrication Process | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 作成者 |
梁, 剣波
× 梁, 剣波
KAKEN2
1000080757013
× 桝谷, 聡× 金, 聖祐
× 大石, 敏之
KAKEN2
1000040393491
× 嘉数, 誠
KAKEN2
1000050393731
× 重川, 直輝
KAKEN2
1000060583698
|
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 権利情報 | © 2018 The Japan Society of Applied Physics. This is not the published version. Please cite only the published version. The article has been published in final form at https://doi.org/10.7567/1882-0786/aaeedd | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Abstract | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | Diamond/Si bonding interface with an entire contact area and high thermal stability is achieved by surface activated bonding method. The fabrication of diamond field-effect transistors (FETs) on the diamond bonded to Si is demonstrated. The FET exhibits clear saturation and pinch-off characteristics.... | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | This work was supported partly by Hirose International Scholarship Foundation and the Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research(16K13676) of the Ministry of Education, Culture, Sports, Science, and Technology(MEXT), Japan. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版者 | IOP Publishing | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | eng | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 記事種別等 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述タイプ | Other | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 内容記述 | LETTER | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 言語 | en | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ識別子 | http://purl.org/coar/resource_type/c_6501 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 資源タイプ | journal article | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプ | AO | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 出版タイプResource | http://purl.org/coar/version/c_b1a7d7d4d402bcce | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子 | https://doi.org/10.7567/1882-0786/aaeedd | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連情報 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連タイプ | isVersionOf | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | DOI | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | https://doi.org/10.7567/1882-0786/aaeedd | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連情報 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 識別子タイプ | NCID | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 関連識別子 | AA12295133 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 書誌情報 |
en : Applied Physics Express 巻 12, 号 1, p. 016501, 発行日 2018-11-26 |
|||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子タイプ | ISSN | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| 収録物識別子 | 1882-0786 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
